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电子工业厂房
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电子工业厂房

日期:2015/8/25 11:42:17 人气:2688

电子工业无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。


ISO_14644洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级
ISO等级序(N)
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值(pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1μm
5μm
ISO Class 1
10
2
ISO Class 2
100
24
10
4
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
ISO Class 5
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
ISO Class 6
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293
ISO Class 7
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
注:由于涉及测量过程的不确定性,帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。

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